Nos fours sont complètement automatisés et conçus pour les process avec différentes zones de chauffage contrôlable selon les besoins et capacités des clients.

Avec les diamètres de 100, 150, 200, 300 mm

SILICIUM

TITANE

CARBURE de SILICIUM

VERRE

CÈRAMIQUE

GaN

FOURS ATMOSPHÈRIQUES

Vegatec conçoit et fabrique des fours atmosphériques comprenant toutes ses systèmes automatismes pour les laboratoires et les industries des micro & nano électroniques et photovoltaïques.

  • Fours d’Oxydation (Oxydation Humide et Sèche)

  • Fours de Diffusion

  • Fours de Dopage

  • Fours de Recuit

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Caractéristiques Générales des Fours Atmosphériques

  • Utilisation et maintenance facilement grâce à un design ergonomique

  • Enceinte de four et cantilever type de porte-échantillon fait du quartz de haute pureté.

  • Capacité de travail en salle blanche classe 10 (ISO 4)

  • Usage longue durée grâce à des composants de haute qualité.

  • Zones de chauffage contrôlables séparément

  • Usage facile d’interface d’automatisation.

  • Design empilable des tubes des fours pour un design compact qui permet effectuer divers de process en même temps.

  • Apte à charger/décharger manuellement ou automatiquement.

  • Capacité adaptée selon chaque client.

  • Pour les laboratoires et les productions industrielles.

LES FOURS SOUS VIDE

Vegatec conçoit et fabrique des fours atmosphériques comprenant toutes ses systèmes automatismes pour les laboratoires et les industries des micro & nano électroniques et photovoltaïques.

Dépôt Chimique En Phase Vapeur À Basse Pression (LPCVD)
Process;

  • Nitrure de Silicium

  • TEOS Oxyde

  • Basse Température Oxyde (LTO)

  • Haute Température Oxyde (HTO)

  • Polysilicium Dopé

  • Oxynitrure de Silicium

  • Polysilicium

  • Silanisation

Dépôt Chimique En Phase Vapeur Assisté Par Plasma (PECVD)
Process;

  • Oxyde de Silicium

  • Nitrure de Silicium

  • Oxynitrure de Silicium

  • Dopage de Phosphore et Bore

Recuit Sous Vide

Caractéristiques Générales des Fours Sous Vide

  • Utilisation et maintenance facile grâce à design ergonomique

  • Enceinte de four et cantilever type de porte-échantillon fait du quartz de haute pureté.

  • Capacité de travail en salle blanche classe 10 (ISO 4)

  • Capacité de travail sous vide jusqu’à 10-6 mbar.

  • Usage longue durée grâce à des composants de haute qualité.

  • Les zones de chauffage contrôlables séparément

  • Usage facile d’interface d’automatisation.

  • Design empilable des tubes des fours pour un design compact qui permet effectuer divers de process en même temps.

  • Apte à charger manuellement ou automatiquement.

  • La capacité adaptée selon chaque client.

  • Pour les laboratoires et les productions industrielles.