Installation et Manipulation des Réseaux d’Ultra Pure

Nous concevons et fabriquons les panoplies des gaz qui sont adaptées aux spécifications d’UHP.

  • Électro-poli inox tuyauterie (Ra = 0.2 Microns)

  • VCR raccord.

  • Soudage orbital.

  • Pré fabrication en salle blanche (class 10 / ISO 4)

  • Détection de fuite hélium

  • Intégration de vanne pneumatique, régulateur de pression, débitmètre massique et détecteur de gaz.

Procédés Thermiques et Chimiques

Plusieurs fours atmosphériques et sous-vide sont en service dans notre salle blanche (class 10 / ISO 4) pour des services et de développement des process.

Ingénierie des Fours et Sorbonnes de Chimie (Wet Bench)

Nous concevons et fabriquons des fours qui consistent en:

  • Panoplie des gaz

  • Cabine thermique

  • Station de chargement/déchargement

  • Régulateur automatisée de process

Nous fabriquons des fours pour les laboratoires, les productions industrielles et des équipements sur mesure pour les wafers avec les diamètres de 4 à 12 pouces. Nous fabriquons également des sorbonnes de chimie.

Automatisation

Nous développons nos systèmes d’automatisation conformément aux règlements spécifiques de la Défense, l’Aéronautique, la Pharmacie et entreprises de haute technologie…

Ces automates sont issus des meilleurs fournisseurs mondiaux.

Technologie du Vide

Nous intégrons toutes pompes mécaniques et turbo moléculaires dans nos systèmes.
Nos systèmes clé en main sont construits de vide primaire jusqu’à ultra vide (UHV) avec gestion du cycle de vide et de pression.

Abattement des Gaz Toxiques

Nous travaillons les techniques suivantes pour abattement des gaz toxiques.

  • Hydrolyse

  • Pyrolyse

  • Plasma

VEGATEC propose:

  • Recherche et développement

  • Équipements sur mesure

  • Analyse des gaz par spectrométrie de masse