Fours sur-mesure
Fours sur-mesure
pour micro et nano technologies,
laboratoire et industriel
Nous concevons et réalisons des équipements de traitement thermique sur mesure
à pression atmosphérique ou sous vide, mettant en jeux nos connaissances
des technologies du vide, des gaz spéciaux et fluides ultra-purs, des traitements thermiques et chimiques,
pour réaliser des procédés sophistiqués et spécifiques à vos besoins.
Equipements de traitements thermiques
pour micro et nano technologies
- Fours d’Oxydation
- Fours de Diffusion
- Fours de Dopage
- Fours d’alliage
- Fours de recuit à haute température
- Fours de dépôt de couches minces sous vide
Caractéristiques générales
- Capacité de traiter différentes tailles de Substrats (100, 150, 200, 300 mm)
- Compatibilité salle blanche (Classe 10)
- Système d’enfournement sans contact automatisé
- Conception des panneaux de gaz pour fluides ultra-purs
- Réacteur tubulaire en quartz à haute pureté
- Gamme de pression jusqu’à 10-6 mbr pour les fours sous vide
- Contrôles et régulations automatisés
- Conformité aux normes CE
Fours de laboratoire et
industriel sur mesure
- Fours à pression atmosphérique
- Fours sous atmosphère contrôlée
- Fours sous vide
- Fours de Calcinations
- Fours de Frittage
- Fours de Déliantage
- Fours à Recuit de Métal
- Fours Pyrolyse
Caractéristiques générales
- Dimensions utiles adaptées au produit à traiter
- Utilisation et maintenance facile grâce à design ergonomique
- Type de résistances chauffantes appropriée aux températures
- Constructions robustes
- Gamme de pression jusqu’à 10-6 mbr pour les fours sous vide
- Contrôles et régulations automatisés
- Conformité aux normes CE