Réseau de gaz spéciaux en salle blanche

Le contexte

Sur un site de production semi-conducteurs, l’extension de la salle blanche nécessitait la mise en place d’un nouveau réseau de distribution de gaz spéciaux, local de distribution / gaz room / jusqu’aux points d’utilisation en salle, Cheminement en plafond technique, déjà occupé par la ventilation, les gaines climatiques et les chemins de câbles existants.

Le défi

Un réseau de gaz spéciaux impose un niveau d’exigence sans commune mesure avec un réseau fluide industriel classique. Chaque raccord, chaque soudure orbitale, chaque test d’étanchéité conditionne directement la pureté du gaz livré au procédé.  Le non respect des procédures de construction et de qualification des lignes haute pureté peut directement impacter la production.

L’intégration du tracé en plafond technique constituait la principale difficulté d’exécution : cheminement contraint par les réseaux existants, accessibilité pour la maintenance future à préserver, interventions limitées à des fenêtres compatibles avec la production en cours sur un site en activité continue.

Le groupe VEGATEC a été retenu pour sa maîtrise de la tuyauterie haute pureté et des réseaux de gaz spéciaux :

• Dimensionnement de la détente en cascade,
• Choix des matériaux selon la nature de chaque gaz,
• Tests et qualifications humidité et particulaire

Les résultats

• Réseau de distribution de gaz spéciaux posé en zone technique et en plafond interstitiel de salle blanche
• Armoire de stockage bouteilles avec panneaux de détente en cascade, raccordement par capillaires inox
• Plus de 40 points de raccordement testés et validés à l’étanchéité
• Aucune interruption de production pendant les travaux
• Réseau conforme dès la première réception, sans reprise

Un chantier technique mené avec un vrai souci du détail, sans jamais gêner notre production. »

Notre approche

Étude et préparation

Relevé du plafond technique existant, intégration du nouveau tracé sans conflit avec la ventilation et les chemins de câbles en place, sélection des matériaux selon la nature de chaque gaz distribué.

Préfabrication atelier

Pré assemblage en atelier d’une partie des lignes de distribution et des panneaux de détente, pour limiter le temps de montage en zone technique et garantir la qualité des soudures en environnement contrôlé.

Installation sur site

Pose du réseau en plafond interstitiel et raccordement de l’armoire bouteilles, en coordination avec les équipes du site pour préserver la continuité de production.

Contrôle et réception

Tirage au vide, tests d’étanchéité point par point, vérification des pressions de service avant mise en gaz, en présence des équipes techniques du client.

Procédés et technologies mis en œuvre

Tuyauterie inox haute pureté, capillaires flexibles pour raccordement bouteilles, panneaux de détente en cascade, contrôle d’étanchéité avant mise en service.